Platzsparende,
horizontale Cluster-Prozesslinie mit geringem
Automationsaufwand
- Kapazität von 30 MW
bis über 600 MW pro Jahr
- Hoher Produktivität pro Quadratmeter -
Prozessmaschinen mit bis zu 3.300 Zellen/h
- Geringer Automationsaufwand - Hohe Maschinenverfügbarkeit - Einfache Kapazitäts- und Prozesserweiterung
bei laufender Produktion - Platzsparendes Anlagenlayout - Keine Schnittstellenanbindung zwischen den
Prozessen notwendig - Integration einzelner Prozess-Cluster in
bestehende Zellkonzepte möglich - Wafer-Handling durch intelligentes
Montrac-Intra-Logistiksystem oder mit
Transportwägen |