Plasma Asher

Hersteller:


  • Hohe Gleichmäßigkeit der Behandlung 
  • In der Lage sein, 6 oder 8 Zoll Wafer zu leiten.
  • Bis zu 25 ~ 50 Wafer pro Charge
  • Zykluszeit ca. 20 ~ 25 min.

Featuring Designs

  • Hochdichtes Plasmasystem (ICP) 
  • Beschädigungsfreies Design
  • Elektroden mit Wasserkühlung


Informationsmaterial per Mail anfordern

Link direkt zur Hersteller Seite