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SCHMID GroupDank einer optimierten Badführung und einer Entschäumvorrichtung kann auf zusätzliche Antischaum-Chemie verzichtet werden. Darüber hinaus gewährleistet die kontrollierte Nachdosierung der Entwicklerlösung eine zuverlässige Entfernung des Resists.
- Entwicklerbad ohne zusätzliche Antischaum-Chemie dank einer optimierten Badführung
- Kontrollierte Nachdosierung der Entwicklerlösung im Nachentwickler gewährleistet optimierten Entwicklungsprozess und zuverlässige Entfernung des Resists