FlexBlue Sputtern


Die FlexBlue wurde speziell für die Vakuum Sputter-Beschichtung von verschiedenen metallischen und nichtmetallischen Schichten konstruiert. Die Schicht wird in einem Batch-Verfahren auf flexible Substrate von Rolle zu Rolle aufgebracht. Mit beidseitig ausfahrbaren Auszügen verfügt die FlexBlue über ein benutzerfreundliches Maschinenkonzept zum Beladen und Entladen der Substratrollen und für Wartungsarbeiten.

  • Fortschrittliches Beschichtungssystem für niedrigste Produktionskosten
  • Kompakter Aufbau für minimalen Platzbedarf
  • Einfacher Zugang an offener Kammer für Rüsten und Wartung
  • Kapazität des Batch-Systems ist flexibel auf die Kapazität existierender Inline-Systeme anpassbar
  • Zehn Kathoden; verwendbar für mehrlagige Beschichtungen
  • Kathoden-Aufbau bestens anpassbar an gewünschte Beschichtungsbreite
  • Ermöglicht enge Leiterbahnen (High Track Pitch Resolution ) und reduziert chemischen Abfall in der Produktion von flexiblen Leiterplatten

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