Plasma Desmear Batch
Hersteller
NEMS Tech.NEMST-D(P)2002
- Einzigartige Plasmatechnologie, die mit Hochspannungs-Elektrofeld, ICP und HCP gleichzeitig integriert ist.
- Die Richtung der Ionenbeweglichkeit kann gesteuert werden.
- ICP & HCP werden gleichzeitig erzeugt und können die Plasmadichte sowie die Prozessgeschwindigkeit erheblich erhöhen.
- Durch den Einsatz von wassergekühlten Elektroden kann der Widerstand der Elektrodenoberfläche gleich bleiben und somit die Prozessstabilität erhöhen.
- Mehrfach-Prozessgas-Selektivität
- Verringern Sie die Wartungszeit und die Betriebskosten durch den Einsatz eines SPS-Rechners.
- Hohe Automatisierung und bedienerfreundliches Design
- Abhängig von den Anforderungen des Kunden wird die Maschine nach speziellen Spezifikationen gefertigt.
- Kammerfähigkeit: 18 ~ 36 Platten (Typ I), 24~48 Platten (Typ II)
Hervorragende Leistung
- Hohe Desmear-/Bohruniformität (ca. ±10% im Allgemeinen)
- Sehr hohe Desmear-/Bohrleistung
- Mehrfachverarbeitungsgase (Ar, CF4, O2, N2), die die besten Oberflächenbehandlungseffekte erzielen können.
Anwendungen
- Desmear
- Blind Durch- und Durchkontaktierung von Löchern
- Förderung der Haftung zwischen den Schichten
- Entfernung von Resistenzen / Emulsionen