Plasma Asher
Hersteller
NEMS Tech.- Hohe Gleichmäßigkeit der Behandlung
- In der Lage sein, 6 oder 8 Zoll Wafer zu leiten.
- Bis zu 25 ~ 50 Wafer pro Charge
- Zykluszeit ca. 20 ~ 25 min.
Featuring Designs
- Hochdichtes Plasmasystem (ICP)
- Beschädigungsfreies Design
- Elektroden mit Wasserkühlung