PPS-8200p1/8300p1

Anwendung:

• Unterstützt eine breite Palette von Anwendungen.
• Kompatibel mit 6/8/12 Zoll Lithographie für WL-CSP, IGBT, CIS, etc.

Merkmale:

• Breitbandbelichtung (automatisches Umschalten von ghi-Linie, gh-Linie, i-Linie in Verbindung mit dem Rezept).
• Variable NA-Funktion (0,16 und 0,1 variabel).
• Fadenkreuz-Design-Format für bis zu 8 Felder.
• Optik geschützt vor Resistausgasung und Chemikalien in der Umgebung.

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