PPS-8500


Anwendung:

  • Stepper speziell für große Platten

Merkmale:

  • Stark verzogene Substrate aufgrund von Wärmebehandlung und verzogenen Umverdrahtungsflächen.
  • Optimale Ansaugmethode für verzogene Platten.
  • Autofokusfunktion mit Mehrpunktfokus.
  • Ausrichtungsfunktion für Plattenausdehnung und -kontraktion.
  • Geteilte globale Ausrichtung, Shot by Shot (Die by Die) Ausrichtung und Skalierung nach Fadenkreuz.

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