S3-8 Flying Probe Substrate Test
Hersteller
atg Luther & MaelzerS3-8 ist das doppelseitige Modell des einseitigen S3-Systems. Das S3-8 hat 8 Testköpfe und 2 hochauflösende Kameras, eine auf der Oberseite und eine auf der Unterseite. Das Shuttle des S3-8 kann doppelseitige Substratplatten einspannen und spannen. Für einseitige Tests kann das S3-8 mit einem leicht zu montierenden Vakuum-Shuttle ausgerüstet werden.
Hauptmerkmale
- 8 Testköpfe
- Doppelseitiges System für ohmsche Prüfungen
- Hochgeschwindigkeits-Lineardirektantriebe für X- und Z-Bewegungen
- Optionale Vakuumplatte kann für einseitige Tests innerhalb von 10 Minuten angebracht werden
- 10 µm Pad-Größe und 25 µm Abstand
- Keine Sondenmarkierungen
- Optische Autofokus-Mikroskop-Objektive
- Kameras mit einer Auflösung von 1,2 µm pro Pixel
- Schnelle 300-mA-Kelvin-Prüfung
- Testbereich 13.8″ x 12.2″ (350 mm x 310 mm)