In-line Plasma Desmear
Hersteller
NEMS Tech.NEMST-D2002L
- Durch den Einsatz der MF-Leistung und des einzigartigen ICP-Plasma-Designs (Inductively Coupling Plasma) kann ein Plasma hoher Dichte induziert werden.
- Wasserkühlung Das Design der Elektroden kann die Konsistenz der Elektrodenwiderstände beibehalten und somit die Prozessstabilität erhöhen.
- Es können mehrere Gase selektiv oder Mischgase verwendet werden.
- Einzelkammer oder Doppelkammer mit In-Line-Automatisierungsdesign.
- In jeder Kammer wird ein Panel behandelt. Der Reinigungs-/Ätzeffekt und die Gleichmäßigkeit werden deutlich erhöht.
Leistungsmerkmale
- PCB/FPC/Flexible Leiterplatte.
- Substratreinigung vor dem Versand.
- Schmierentfernung bei Durchgangsbohrungen und Blind Vias nach dem Laserbohren.
- Oberflächenreinigung vor dem Aufbringen der Cu-Schicht.
- Oberflächenaktivierung und Rauhigkeitsverbesserung.
- Bohrfunktion zum Ersetzen des Laserbohrers.
Anwendungen
- 100% Inline-Prozess kann die menschliche Arbeitskraft reduzieren und eine Produktionsautomatisierung erreichen.
- In jeder Kammer wird ein Panel behandelt. Der Reinigungs-/Ätz-Effekt und die Gleichmäßigkeit werden deutlich erhöht.
- PC-basiertes Software-Design abhängig von den Anforderungen des Kunden.
- Shop Floor System oder SECS/GEM-Automatisierung können für die In-Line-Anforderungen eingesetzt werden.
- Vollständig Inline-Verfahren können das Risiko, Schäden an der Platte zu verursachen, verringern.